真空获得设备

真空获得设备广泛用于航空、食品，生物科技，医疗业，制造业，冶金，石油化工、建筑等领域。磁控溅射离子镀技术是指在真空室中将被镀材料气化，电离，在偏压的作用下使粒子加速并轰击工件表面，最终在工件表面形成连续薄膜。整个镀膜过程都是在真空环境下进行的。因此，获得稳定、高真空度的真空系统对镀膜工艺过程至关重要。真空获得设备主要由真空泵加上各种阀门、管道及真空测量仪器组成。真空系统一般要求所用零件少，方便安装、拆卸、操作;机组结构紧凑且所占空间尽量小;工作性能稳定、可靠。

真空泵可以看作一种气体运输装置，它将气体从被抽容器中抽吸出来，使容器中的压力降低，是真空获得设备的重要组成部分。真空泵的极限真空的范围很大，从粗真空到10-12Pa高真空，抽速由零点几升每秒到几十万升每秒。每种真空泵都有抽速范围，往往根据不同的工作要求选择合乎要求的真空泵。有时将各种真空泵互相衔接组合起来使用，以满足各种不同真空工艺过程的需要。真空泵的选择不能只依据一种指标，要从多方面去考虑。选择真空泵型有两个主要依据:(1)真空室空载所需的极限真空度。选择真空泵时，***要满足真空室的极限真空度低于所选真空泵的极限真空度。(2)真空室的工作压强。真空泵抽速范围是选择真空泵类型的一重要技术指标，因此，要保证工作压强在所选真空泵的抽速压强范围内。真空获得设备按极限真空来分，可分为高真空获得设备和低中真空获得设备。