干式真空泵简介

在近50年来，随着真空技术的研究与发展，在诸多行业、部门以及科研项目中的广泛应用，例如冶金、机械、化工、石油、轻工、食品、交通运输、环保、工业等，所需要的真空获得设备的研究工作也已经是硕果累累。由于科学技术的进步和制造业技术的发展革新，以半导体、电子产品为代表工业生产制造技术也同样产生了革新，在其的制造工艺中，需要要求没有污染且真空度较高的清洁真空环境。所以，干式真空泵便以其自身原理、结构、抽气效率等各方面的突出优势在诸多领域中均得到了广泛认可，其中多级罗茨干式真空泵便是这些领域中十分常用***的真空获得设备之一。

对于干式真空泵可以从狭义与广义两个方面来进行定义。从狭义上讲，干式真空泵应该定义为:在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质、排气口与大气相通可连续向大气排气、可在大气压至10Pa范围内连续抽气。从广义上讲，干式真空泵是指在大气压到1x10-2Pa的压力范围内工作，在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能使用任何油类和密封液体，排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。

干式真空泵属于气体输送泵，其中气体输送泵依据其工作原理不同，可以分为动量输送式真空泵和容积式真空泵两大类型。动量输送式真空泵包括如涡轮泵和离心泵等。容积式干式真空泵的工作原理是利用真空泵在工作过程中，泵腔内容积的周期性变化来实现其抽气过程的。由于容积的工作原理不同，包括往复式真空泵和旋转式真空泵。

其中旋转式真空泵就包括现在正被广泛认可、研发、和使用的干式真空泵，其主要包括多级罗茨真空泵，多级活塞泵，爪型泵，螺杆泵，涡旋泵等。不同种类的干式真空泵的工作特性、适用环境等都不尽相同。

干式真空泵的应用范围十分广泛，这也主要由于其的工作原理可以使其在工作过程中能够清洁、***地获得所需要的真空环境。就其所被使用的行业不同，可以大体分为以下几个方面:

a)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

b)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

c)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用相应型式的干式机械真空泵可以满足要求。

干式真空泵在设计结构上，通常为利用两个或多个相互啮合转子的啮合旋转来实现其抽气过程的。相互啮合的转子与转子之间均要存在特定的啮合间隙。因此在千式真空泵工作过程中，转子之间没有磨擦，旋转工作平稳，产生的噪音低yob。该真空泵的泵腔内不需要油类等的工作介质，所以它能够防止被抽容器被泵腔内返流出来的工作介质所污染。并且，其也避免了因为一些特殊加工生产中所使用的反应物质在抽气过程中，与一些真空泵内的工作介质发生反应，致使真空泵无法正常运转抽气的情况发生。

由于干式真空泵自身的设计机理，其可以抽除鞋带大量水蒸汽和少量粉尘的气体。而且就旋转容积式干式真空泵而言，其抽气过程中对泵腔内的气体不存在压缩作用，所以其可以用来抽出可凝性气体等。并且，干式真空泵的消耗功率更低，其所能够达到的极限真空更高，具有节能，免维修等优点。曾经被广泛使用的油封式真空泵已经逐渐式真空泵所取代，并且应用范围己经扩展到制药、化工、航天、半导体等诸多行业。