真空泵设备的保养故障方法

维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，***要搞清楚是什么原因。

是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。

在真空设备维修中用户头疼的***是检测漏率问题了。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。外漏较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。内漏则要从不同真空工作区域分区排查，在真空系统达到***压力值后，分别启动卷绕和蒸发系统，观察真空计的读数在短暂下降后有无爬升，可以初步判断内漏点方向。内漏多发生在有水冷却点的设备上，在查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀等，具备以上条件基本可以推断内漏，先将腔体清理干净，再通冷却水，仔细查看通水管路有无湿润点，湿润处就是漏点。

在真空设备维修中用户头疼的***是检测漏率问题了。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。外漏较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。内漏则要从不同真空工作区域分区排查，在真空系统达到***压力值后，分别启动卷绕和蒸发系统，观察真空计的读数在短暂下降后有无爬升，可以初步判断内漏点方向。内漏多发生在有水冷却点的设备上，在查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀等，具备以上条件基本可以推断内漏，先将腔体清理干净，再通冷却水，仔细查看通水管路有无湿润点，湿润处就是漏点。

说到这里可能的大家觉得好像检漏也不是那么难啊，为啥说是头疼的问题呢， 其实呢，大的漏点并不难找，困难的是小漏和微漏了。

可以利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射或乙醇，结合指针式真空计，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动，用这种方法检漏***要有耐心，要等到电离计的示值稳定了，也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，再喷射，反复几次，确认漏点。

维修***要注意几个环节，拆卸、清洁、检验、装配。真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，***不能用大锤去敲；清洗零件时要干净、，以便于发现问题和查出隐患；真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易伤手，应多加小心，切记。

检查漏点是个细致活，每个细节都不要落掉，更不能存在侥幸心理。经常有厂家来求助，说什么都查了，就是真空上不去，可能就是一根供气的真空胶管没查，或者一个水接头处。问题往往出现在不经意之处。

维修切记不可操之过急，故障没搞清楚就想当然地开始动手拆卸，会旧病未除又添新病，把本来简单的问题搞复杂化了。

有很多厂家问到，常规的维修可以按部就班地去做，应急条件下设备出了故障，生产任务又急不可待，这种情况下应该如何处理？ 这时，只要判断故障准确，采用手头上现有的材料，真空封泥、真空封蜡、704硅胶、真空腔板等可用的材料，只要与在制品不发生冲突，就可以进行修理，应急的原则是在不损坏设备和不影响在制品的条件下做到设备能正常生产。           

真空设备的配套领域愈来愈广，很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。相当多的情况下不是单一部分的问题，这一点让人难以在故障排查中进行综合考量，有的是机械装配中精度不到位造成的，有的是绝缘材料或结构上的问题，这时，不要急于下结论，不要急于拆卸设备，应认真查勘分析故障现象，以及请教设备厂家***人员，避免误拆误卸造成不必要的损失。

良好的真空度是真空镀膜设备运行的前提，在日常使用中，小编也希望大家能认真仔细的做好常规维护，防小微杜大患，稳定生产以获取大利润。